Filter Segel C Pemasangan Permukaan IGS Kinerja Tinggi kanggo Sistem Pangiriman Gas Semikonduktor

Katrangan Cekak:

Merek:HENGKO

Jeneng Filter:Filter C-Seal Pemasangan Permukaan IGS

Bahan:SS 316L

Laju aliran:10 ~ 120 SLPM

Suhu operasi maksimal:460°C

Ukuran penghapusan partikel:> 0,003 μm

Kirim email menyang kita Bali menyang Sub-Kategori

Rincian Produk

Tag Produk

Katrangan

Filter Pemasangan Permukaan HENGKO dirancang kanggo nyukupi syarat-syarat sistem gas terintegrasi sing digunakake ing piranti OEM semikonduktor. Nawakake filtrasi sing unggul ing industri kanthi 0,003 µm, filter iki njamin kinerja lan keandalan sing luar biasa kanthi efisiensi intersepsi partikel ≥99,9999999% (9-LRV) ing 120 slpm.

Digawé saka bubuk baja tahan karat 316L sing kuwat sing disinter kanggo elemen filter lan omah, filter iki tundhuk karo spesifikasi SEMI F86-0304, kanthi komponen rong port sing dirancang kanggo sistem distribusi gas 1,125” kanthi konfigurasi C-seal. Filter iki ndhukung tekanan inlet maksimum 3,4 MPa ing 100°C lan diferensial tekanan operasi maksimum 0,69 MPa ing 100°C.

Filter khusus iki, kompatibel karo spesifikasi segel tipe-C lan tipe-W, nggayuh kebersihan hilir kanthi pelepasan partikel

Kanthi lapisan permukaan Ra< 1,6 µm ing njaba lan Ra< 0,13 µm ing njero, filter iki dirancang kanggo tahan suhu dhuwur nganti 460°C. Dirancang kanggo integrasi sing gampang lan peningkatan desain modular, filter iki nyederhanakake instalasi lan pangopènan, mbantu ngoptimalake kinerja sistem ing aplikasi pangiriman lan kontrol gas semikonduktor.

Fitur Produk

▶ Konstruksi baja tahan karat 316L sakabèhé
▶ Desain miniatur, struktur kompak, hemat ruang
▶ Karakteristik panggantos lan desorpsi gas sing apik banget
▶ Tahan suhu dhuwur, tekanan dhuwur, lan korosi
▶ Wadhah baja tahan karat 316L sing dipoles elektro
▶ Instalasi lan pangopènan sing gampang lan efisien
▶ Penyegelan mekanis, ora dilas sacara struktural menyang medium

Filter Segel C Pemasangan Permukaan IGS Kinerja Tinggi kanggo Sistem Pangiriman Gas Semikonduktor

Lembar Data

Parameter Teknis	Nilai-nilai
Bahan Elemen Filter	Bubuk Sinter Baja Tahan Karat 316L
Bahan Perumahan	Baja Tahan Karat 316L
Tekanan Inlet Maksimum	3,4 MPa @ 100°C
Diferensial Operasi Maksimum	0,69 MPa @ 100°C
Tingkat Kebocoran Verifikasi Helium	1x10⁻¹¹ cc/menit
Tingkat Kebocoran Tes Helium	1x10⁻⁹ cc/menit
Perawatan Permukaan	Permukaan njaba Ra< 1,6 μm
	Permukaan Jero Ra< 0,13 μm
Suhu Operasi Maksimum	460°C
Efisiensi Intersepsi Partikel	≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS Referensi, kabeh partikel)
Kebersihan Hilir	Pelepasan Partikel:< 0,03 partikel/liter (< 1 partikel/ft³)
	Volatil:Kelembapan < 10 ppb
Ukuran Intersepsi Partikel	≥0,003 μm
Rentang Aliran	0 ~ 120 slpm